산업용 정밀 계측의 모든 것 

"극한의 산업 현장부터 초정밀 연구실까지,
엄격하게 검증된 글로벌 표준 센서를 만나보세요."

유량계

MFCEXO-110/120 | 방폭형 질량 유량 제어기 | (주)해암이엔지

엠케이프리시젼 EXO-110/120 방폭형 MFC


엠케이프리시젼(MKP)

방폭형 질량 유량 제어기 (Explosion-Proof MFC)

Zone 2 방폭 인증, IP65 방수/방진, 고속 응답

📝 EXO-110/120 핵심 요약

  • ✅ 방폭 인증(Zone 2)을 획득하여 위험 지역에서도 안전하게 사용할 수 있습니다.
  • ✅ IP65 등급의 탁월한 내구성으로 수분과 분진이 많은 열악한 환경에 최적화되었습니다.
  • ✅ 대유량 흐름 제어 시에도 1초 이내의 빠른 응답 속도를 보장합니다.
  • ✅ Surge 보호 회로 및 온도 보상 회로를 적용하여 전기적/환경적 안정성을 높였습니다.
  • ✅ 터미널 블록 배선 방식을 채택하여 현장 설치 및 유지보수가 간편합니다.



🏭 추천 적용 분야 (Applications)

  • 화학 및 석유화학 플랜트: 폭발 위험이 있는 가스를 다루거나 실외 설치가 필요한 공정 라인에 필수적입니다.
  • 반도체 및 디스플레이 제조 설비: 유해 가스 누출 가능성이 있는 가스 캐비닛이나 스크러버(Scrubber) 설비에 적용됩니다.
  • 환경 계측 및 분석 시스템: 습기나 먼지가 많은 현장 측정소의 샘플링 시스템에서 안정적인 유량 제어를 제공합니다.



⚙️ 사양 (Specifications)

구분 (Item)EXO-110EXO-120
유량 범위 (N2 기준)5 sccm ~ 1.5 slm1.5 slm ~ 50 slm
유량 제어 범위풀스케일 기준 2 ~ 100%
정확도풀스케일 기준 ≤ ± 1%
응답 시간≤ 1 sec
선형성풀스케일 기준 ≤ ± 0.2%
밸브 형식Normally Closed Solenoid
씰의 종류Elastomer (Viton®, Viton-ETP®, Kalrez®, etc.)
입출력 신호아날로그: 0~5Vdc or 4~20mA / 디지털: RS-485
전원+15VDC ~ +24VDC
권장 사용 온도15 ~ 35℃
안정화 시간30 min
커넥터터미널 블록 배선 방식
사용 환경 / 보호 등급ZONE 2 / IP65
무게 (STS 기준)2.9 kg2.9 kg
무게 (AL 기준)2.08 kg2.08 kg



🏷️ 모델명 구성 (Ordering Info)

EXO Series (Explosion Proof)

※ 모델별 유량 범위를 확인하세요.

모델명 (Model)용량/사양 (Capacity/Spec)특징 (Feature)
EXO-1105 sccm ~ 1.5 slm저유량, 방폭형, IP65
EXO-1201.5 slm ~ 50 slm중유량, 방폭형, IP65
EXO-110 EXO-120



❓ 자주 묻는 질문 (FAQ)

Q. EXO-110과 EXO-120 모델의 차이점은 무엇인가요?

A. 두 모델은 외형과 주요 사양(방폭 등급, 정확도 등)이 동일하지만, 제어 가능한 유량 범위(Flow Range)가 다릅니다. EXO-110은 최대 1.5slm까지의 저유량 제어에, EXO-120은 최대 50slm까지의 중유량 제어에 적합합니다.

Q. 방폭 등급 ZONE 2와 IP65는 어떤 의미인가요?

A. ZONE 2는 정상 작동 중에는 폭발성 가스 분위기가 생성될 가능성이 낮은 지역에서 안전하게 사용할 수 있음을 의미합니다. IP65는 먼지로부터 완벽하게 보호되고(6), 모든 방향의 낮은 압력의 물줄기로부터 보호됨(5)을 의미하여 실외나 습한 환경에서도 사용 가능합니다.

Q. 배선 연결은 어떻게 하나요?

A. EXO 시리즈는 일반적인 D-Sub 커넥터 대신, 방수 및 안전성을 위해 '터미널 블록 배선 방식'을 채택하고 있습니다. 케이블을 직접 단자에 연결하는 방식으로, 진동이 심한 환경에서도 풀림 없이 견고한 연결을 제공합니다.



📐 도면 (Drawing)

모델ABCDE (Fitting Length)FGH
1/8" LOK1/4" LOK3/8" LOK1/2" LOK1/4" VCR1/2" VCR6mm8mm12mm
EXO-110,12017612.745134181186.3188.2192.2181189.6184.8187.2193.6612237.5


EXO-110/120 시리즈 도면



  • 제품의 사양 및 옵션은 데이터시트를 참고하여 주시고, 자세한 내용은 문의 바랍니다.
  • 사양은 성능 개선을 위해 예고 없이 변경될 수 있습니다.
 📧 haiam@haiam.com 문의하기