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유량계

MFCTSC-D230 | 중유량 디지털 질량 유량 제어기 | (주)해암이엔지

엠케이프리시젼 TSC-D230 중유량 디지털 MFC


엠케이프리시젼(MKP)

중유량 디지털 질량 유량 제어기 (MFC)

30slm ~ 100slm, 1.3kg의 컴팩트 디자인

📝 TSC-D230 핵심 요약

  • ✅ 수만 세트 공급 실적을 통해 입증된 높은 신뢰성과 내구성을 제공합니다.
  • ✅ 저유량과 대유량 사이의 30~100slm 구간을 커버하는 최적의 디지털 모델입니다.
  • ✅ 1.3kg의 가볍고 컴팩트한 디자인으로 설비 내 설치 공간을 절약합니다.
  • ✅ ±1%의 높은 정확도와 1.5초 이내의 빠른 응답 속도를 자랑합니다.
  • ✅ RS-485 통신을 기본 지원하며 다양한 산업용 애플리케이션에 적용 가능합니다.



🏭 추천 적용 분야 (Applications)

  • 가스 혼합 설비 (Gas Blender): 여러 종류의 가스를 일정 비율로 혼합해야 하는 공정에서 중유량 대역을 담당합니다.
  • 진공 증착 장비: 반도체 및 디스플레이 제조 공정의 진공 챔버 내 가스 공급 라인에 사용됩니다.
  • 연구소 및 실험 장비: 반응기나 분석 장비 등 정밀한 유량 제어가 필요한 다양한 실험 환경에 적합합니다.



⚙️ 사양 (Specifications)

SpecificationsDetail
유량 범위 (N2 기준)30 ~ 100 slm
유량 제어 범위풀스케일의 2 ~ 100%
정확도풀스케일의 ≤ ± 1%
응답 시간≤ 1.5 sec
선형성풀스케일의 ≤ ± 0.2%
작동 원리열식 (Thermal)
제어 벨브 형식Normally Closed Solenoid
씰의 종류Elastomer (Viton®, Viton-ETP®, Kalrez® 등)
입출력 신호아날로그: 0~5VDC or 4~20mA / 디지털: RS-485 (D-NET 지원)
전원 공급+15VDC or +24VDC
작동 온도5 ~ 50℃ (권장 온도 범위: 15 ~ 35℃)
커넥터D-SUB 9P MALE (D-NET Connector 가능)
방폭해당 없음
디스플레이해당 없음
무게1.3kg

※ sccm과 slm은 표준상태(0℃, 101.3 kPa)에서의 유량 단위입니다.


🏷️ 모델명 구성 (Ordering Info)

TSC-D230 Series

※ 상세 사양 및 치수는 도면을 참고하세요.

모델명 (Model)용량/사양 (Capacity/Spec)특징 (Feature)
TSC-D23030 ~ 100 slm중유량 제어, 컴팩트형, 정밀도 1%
TSC-D230



❓ 자주 묻는 질문 (FAQ)

Q. TSC-D230은 어떤 유량 범위에 적합한가요?

A. TSC-D230은 30slm에서 100slm 사이의 '중유량' 대역을 제어하는 데 최적화되어 있습니다. 일반적인 저유량 MFC와 대유량 MFC 사이의 간극을 메워주는 모델로, 실험용부터 양산 장비까지 폭넓게 사용됩니다.

Q. 제품의 크기나 무게는 어떤가요?

A. 1.3kg의 가벼운 무게와 컴팩트한 사이즈를 가지고 있어 장비 내 공간 활용도가 높습니다. 대유량 모델 대비 설치가 용이하여, 공간이 협소한 장비나 좁은 가스 박스 내부에도 쉽게 설치할 수 있습니다.

Q. 디지털 통신 연결이 가능한가요?

A. 네, 기본적으로 RS-485 통신을 지원하며, 옵션으로 D-NET(DeviceNet) 연결도 가능합니다. 이를 통해 PC나 PLC에서 실시간으로 유량을 제어하고 모니터링할 수 있습니다.



📐 도면 (Drawing)

모델AB (Fitting Type)CDEFGH
1/8" LOK1/4" LOK3/8" LOK1/2" LOK3/4" LOK1/4" VCR1/2" VCR
TSC-D23093.5
146.34149.38154.98161.58
148.935.817141.823480


TSC-D230 도면 (참고)



  • 제품의 사양 및 옵션은 데이터시트를 참고하여 주시고, 자세한 내용은 문의 바랍니다.
  • 사양은 성능 개선을 위해 예고 없이 변경될 수 있습니다.
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