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유량계

MFCTSC-D245 | 대유량 디지털 질량 유량 제어기 | (주)해암이엔지

엠케이프리시젼 TSC-D245 대유량 MFC


엠케이프리시젼(MKP)

대유량 디지털 질량 유량 제어기 (MFC)

100slm ~ 400slm, RS-485/D-NET 지원

📝 TSC-D245 핵심 요약

  • ✅ 수만 세트 이상 공급되어 시장에서 검증된 최고의 안정성과 정확성을 자랑합니다.
  • ✅ 1.5초 이내의 빠른 응답 속도로 대유량 공정의 생산성을 높여줍니다.
  • ✅ 아날로그 및 RS-485(DeviceNet) 디지털 통신을 모두 지원하여 시스템 호환성이 뛰어납니다.
  • ✅ 최대 400slm의 대용량 가스를 정밀하게 제어할 수 있습니다.
  • ✅ 반도체, FPD, 산업용 버너 등 다양한 대유량 애플리케이션에 적용 가능합니다.



🏭 추천 적용 분야 (Applications)

  • 산업용 가열로 및 버너 제어: 대용량의 연료 가스(LNG, LPG 등) 및 산소 공급 라인의 정밀 제어에 적합합니다.
  • MOCVD 및 코팅 공정: 대면적 증착 장비나 코팅 설비에서 균일한 가스 공급이 필요한 경우 사용됩니다.
  • FPD(Flat Panel Display) 제조: 디스플레이 패널 제조 공정 중 대유량의 가스 공급 및 퍼지(Purge) 라인에 최적화되어 있습니다.



⚙️ 사양 (Specifications)

SpecificationsDetail
유량 범위 (N2 기준)100 ~ 400 slm
유량 제어 범위풀스케일의 2 ~ 100%
정확도풀스케일의 ≤ ± 2%
응답 시간≤ 1.5 sec
선형성풀스케일의 ≤ ± 0.2%
작동 원리열식 (Thermal)
제어 벨브 형식Normally Closed Solenoid
씰의 종류Elastomer (Viton®, Viton-ETP®, Kalrez® 등)
입출력 신호아날로그: 0~5VDC or 4~20mA / 디지털: RS-485 (D-NET 지원)
전원 공급+15VDC or +24VDC
작동 온도5 ~ 50℃ (권장 온도 범위: 15 ~ 35℃)
커넥터D-SUB 9P MALE (D-NET Connector 가능)
방폭해당 없음
디스플레이해당 없음
무게3.2kg

※ sccm과 slm은 표준상태(0℃, 101.3 kPa)에서의 유량 단위입니다.


🏷️ 모델명 구성 (Ordering Info)

TSC-D240 Series

※ 상세 사양 및 치수는 도면을 참고하세요.

모델명 (Model)용량/사양 (Capacity/Spec)특징 (Feature)
TSC-D245100 ~ 400 slm대유량 제어, 디지털 통신, 빠른 응답성
TSC-D245



❓ 자주 묻는 질문 (FAQ)

Q. 기존 아날로그 MFC와 TSC-D245의 차이점은 무엇인가요?

A. TSC-D245는 디지털 방식(Digital)을 채택하여 기존 아날로그 방식 대비 선형성(Linearity)이 획기적으로 개선되었습니다. 또한 RS-485 통신을 통해 유량 제어뿐만 아니라 자가 진단 및 상태 모니터링이 가능하여 스마트 팩토리 환경에 적합합니다.

Q. 통신 방식 중 D-NET은 무엇을 의미하나요?

A. D-NET은 산업용 네트워크 프로토콜인 DeviceNet을 의미합니다. TSC-D245는 옵션에 따라 DeviceNet 프로토콜을 지원하므로, 기존 PLC 또는 제어 시스템과 손쉽게 통합하여 다채널 제어가 가능합니다.

Q. 대유량 모델임에도 응답속도가 1.5초로 빠른 편인가요?

A. 네, 그렇습니다. 일반적인 대유량 MFC는 밸브 크기로 인해 응답 속도가 느려질 수 있으나, TSC-D245는 최적화된 PID 제어 알고리즘과 고성능 솔레노이드 밸브를 적용하여 전 구간에서 1.5초 이내의 빠른 응답성을 보장합니다.



📐 도면 (Drawing)

모델AB (Fitting Type)CDEFGH
1/8" LOK1/4" LOK3/8" LOK1/2" LOK3/4" LOK1/4" VCR1/2" VCR
TSC-D24595-
199.92205.5209.08-2004924.5151.814.55424


TSC-D245 도면



  • 제품의 사양 및 옵션은 데이터시트를 참고하여 주시고, 자세한 내용은 문의 바랍니다.
  • 사양은 성능 개선을 위해 예고 없이 변경될 수 있습니다.
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