유량계

엠케이프리시젼 MKP VIC-W210 독성 부식성 가스용 디지털 MFC 대표 이미지

엠케이프리시젼(MKP)

VIC-W210 독성·부식성 가스용 디지털 MFC 질량유량제어기

최종 업데이트: 2026.07.03

Metal + FEP Encapsulated O-ring, 용접 피팅 구조, Normally Closed Solenoid

N2 5sccm~1.5slm, Full Scale 2~100%, RS-485·0~5Vdc/4~20mA

VIC-W210은 독성·부식성 가스 라인의 미소 유량을 제어하는 엠케이프리시젼(MKP)의 디지털 질량유량제어기(MFC)입니다. N2 5sccm~1.5slm, Metal + FEP Encapsulated O-ring 구조를 채택하여 가스 접촉부 재질 검토가 필요한 라인에 적용을 검토할 수 있습니다. RS-485 통신 및 아날로그 출력 조건을 지원하여 상위 제어 시스템 연동을 확인할 수 있습니다.

실시간 견적/기술 문의하기

📌 상세 모델명:VIC-W210VIC-W220

📝 VIC-W210 핵심 요약

✅ 독성·부식성 가스용 특수 구조: Metal Gasket과 FEP Encapsulated O-ring을 적용하여, 씰링(Sealing) 및 접가스부 재질 검토가 필요한 특수 가스 라인에서 일반 가스용 MFC와 구분해 검토할 수 있습니다.
✅ 초미소/저유량 제어: N2 기준 5sccm부터 최대 1.5slm까지 측정 가능하며, Full Scale의 2~100% 제어 범위가 제시되어 있어 운전 유량이 해당 범위에 들어오는지 확인해야 합니다.
✅ 제어 신호 선택: 0~5Vdc, 4~20mA 아날로그 출력 또는 RS-485 디지털 통신을 지원하므로 현장 PLC/DCS 제어반 입력 사양에 맞춰 적용 가능 여부를 검토할 수 있습니다.
✅ 다양한 피팅 및 장착 길이: 1/8~1/2 LOK 및 1/4~1/2 VCR 등 피팅 규격에 따라 장착 길이(A 치수)가 상이하므로, 설계 전 배관 규격과 설치 공간 확인이 필요합니다.

🏭 추천 적용 분야 (Applications)

🔹반도체 식각 및 특수가스 공급 라인: 5sccm~1.5slm 범위의 미소 유량 제어가 요구되는 공정으로, 씰 재질, 피팅 구조, 유량 제어 범위를 확인해 VIC-W210 적용 여부를 검토할 수 있습니다.
🔹CVD 및 화학 처리 설비: 부식성 또는 습식성 가스에 노출될 수 있는 환경에서는 Metal + FEP Encapsulated O-ring 구조와 응답 시간 1.0초 이내 조건을 함께 확인해야 합니다.
🔹정밀 분석 기기 및 연구용 가스 라인: RS-485 통신이나 아날로그 신호가 필요한 시험 설비에서는 제어 신호, 전원, 커넥터 옵션을 상위 장비 인터페이스에 맞춰 확인해야 합니다.

⚙️ 상세 사양 (Specifications)

항목	상세
유량 및 제어 성능
유량 범위	N2 기준 5sccm ~ 1.5slm
유량 제어 범위	Full Scale의 2 ~ 100%
정확도	Full Scale의 ≤ ±1%
응답 시간	≤ 1.0 sec (10 ~ 100%)
선형성	Full Scale의 ≤ ±0.2%
구조 및 밸브
작동 원리	열식 (Thermal)
제어 밸브 형식	Normally Closed Solenoid
씰 종류	Metal + FEP Encapsulated O-ring
전기 및 통신 조건
입출력 신호	아날로그: 0~5Vdc 또는 4~20mA 디지털: RS-485 옵션: DeviceNet, EtherCAT
전원 공급	+15VDC ~ +24VDC
커넥터	표준: D-SUB 9 pin Male 옵션: DeviceNet Micro style, RJ45
환경 및 기타 조건
작동 온도	5 ~ 50℃ (권장 온도 범위: 15 ~ 35℃)
방폭 / 디스플레이 / 무게	방폭: 해당 없음 디스플레이: 해당 없음 무게: 1kg

※ sccm과 slm은 표준상태(0℃, 101.3 kPa)에서의 유량 단위입니다.

🏷️ 모델명 구성 (Ordering Info)

VIC-W200 Series

⚠️ 모델별 상세 사양 및 용량은 아래 표를 참고하여 주시기 바랍니다.

모델명	용량	사양
VIC-W210	5sccm ~ 1.5slm	독성·부식성 가스용 Metal + FEP Encapsulated O-ring 1/4" 피팅 기준
VIC-W220	문의 필요	독성·부식성 가스용 메탈 씰 피팅 변경 모델

VIC-W210VIC-W220

❓ 자주 묻는 질문 (FAQ)

QVIC-D200 같은 일반 가스용 MFC 대신 VIC-W210을 적용해야 하는 기준은 무엇인가요?

A. 취급 유체가 독성 또는 부식성 가스인 미소 유량 라인일 경우 VIC-W210을 우선적으로 검토해야 합니다. 이 모델은 Metal + FEP Encapsulated O-ring이 적용된 특수 가스용 MFC로, 인렛 및 아웃렛 피팅부의 용접 구조가 요구되는 공정에서 일반 O-ring 타입과 명확히 구분됩니다. 단, 방폭 인증은 포함되어 있지 않으므로 폭발 위험 구역(Hazardous Area)의 경우 별도의 방폭형 모델을 선정해야 합니다.

Q5sccm~1.5slm 범위는 주로 어떤 공정에 적합한 유량인가요?

A. VIC-W210은 대유량 라인보다는 정밀한 저유량 독성 가스 제어가 필요한 공정에 특화되어 있습니다. 질소(N2) 기준으로 5sccm부터 1.5slm까지 제어 가능하며, 제어 범위는 Full Scale의 2~100%입니다. 현장의 운전 유량이 해당 범위 내에 속하는지 확인해야 하며, 1.5slm을 초과하는 경우 동급 계열의 확장 모델이나 타 유량대의 제품을 검토해야 합니다.

Q상위 제어반(PLC/DCS)과 연동 시 어떤 통신/신호 사양을 확인해야 하나요?

A. 현장 제어 시스템의 아날로그 또는 디지털 통신 여부에 맞춰 입출력 신호와 커넥터 타입을 지정해야 합니다. 기본적으로 0~5Vdc 또는 4~20mA 아날로그 신호와 RS-485 통신을 지원합니다. DeviceNet, EtherCAT 등은 옵션 사양이므로 발주 전 적용 가능 여부 확인이 필요하며, 표준 커넥터는 D-SUB 9 pin Male 타입이 제공됩니다.